2009年2月13日 OEEとはoverall equipment efficiencyの略である。2004年ごろから日本の半導体メーカーは，半導体製造装置の実稼働率が の時間，例えばアイドリング・タイム，ダミー・ウエーハの処理時間，故障時間を減らすために，さまざまなアプローチを試みた。 マイページ · PDFダウンロード · 書籍 · セミナー · 検索 今すぐ会員登録（無料） 製造現場で検証した工場計画を最適化、デジタルツイン支援ツールで実現
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